潔凈室工程設(shè)計

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潔凈室工程設(shè)計

2020-10-13

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潔凈室工程是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的房間。它是污染控制的基礎(chǔ)，控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。由于集成電路芯片、太陽能光伏芯片等在生產(chǎn)時對環(huán)境要求非常高，通常需要在無塵的環(huán)境下，且控制周圍空氣的潔凈度及溫濕度，才能生產(chǎn)出合格的產(chǎn)品，因此，為了使現(xiàn)有的生產(chǎn)線達到凈化要求，通常要先施工建造一個無塵室。

潔凈室工程的溫濕度是由組合式凈化空調(diào)器控制和調(diào)節(jié)的。然而，隨著科技日新月異的發(fā)展，尤其是集成電路生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，集成電路芯片生產(chǎn)的線寬由0 .45微米發(fā)展到0 .11微米，甚至由微米級向納米級發(fā)展，環(huán)境溫度的細微變化即可能影響生產(chǎn)工藝。通過進風管向無塵車間內(nèi)部通入過濾凈化后的新風，同時通過排風管將無塵車間內(nèi)部的空氣排出；將液態(tài)的環(huán)氧樹脂傾倒于無塵車間的地面，待環(huán)氧樹脂凝固后，使得無塵車間的地面形成水平的環(huán)氧樹脂涂層地板。提升了無塵室內(nèi)部的溫度均勻性，實現(xiàn)了無塵車間的有效保溫。在密封空間的頂部設(shè)置吊頂，并將進風罩固定于上述吊頂上，然后安裝進風管、排風管和空調(diào)機組。

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