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潔凈室工程中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB,生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體和絕緣介質(zhì)材料(例如大多數(shù)普通塑料)。在某些環(huán)境下,離子化消電器常用來(lái)局部消散這些物體上的靜電荷,而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來(lái)中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。
確定靜電控制級(jí)別,盡量減少靜電荷的產(chǎn)生,泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累,保護(hù)產(chǎn)品不受ESD的損壞。確定靜電控制的級(jí)別,元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級(jí)。1級(jí):易遭受0-1999V靜電電壓損壞的,2級(jí):易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的,3級(jí):易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的,而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。靜電防護(hù)工作區(qū)的分級(jí),A級(jí):允許對(duì)地靜電電位不超過(guò)±100V,B級(jí):允許對(duì)地靜電電位不超過(guò)±1000V。
這是控制靜電的三步曲中第三步。在微電子生產(chǎn)的凈化室中,為阻止ESD發(fā)生在靜電敏感元器件或組件、PCB上,一種方法是對(duì)元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散”掉產(chǎn)品上存在的靜電荷;另一種方法是用恰當(dāng)?shù)陌b方法和材料來(lái)處理靜電敏感器件的包裝和輸運(yùn)。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產(chǎn)品以及減少產(chǎn)品在包裝箱中移動(dòng)而產(chǎn)生靜電荷。