空氣分子污染IC工廠較關(guān)心的問題于20年前先由日本人提出，近年來，世界Ic卡技術(shù)發(fā)展迅速，IC芯片日益微型化，目前已經(jīng)有贏徑為0.4 lilln的世界較小的非接觸型無線射頻識別芯片。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響；更有甚者用于某一工序的各種工藝材料( 化學(xué)品、特種氣體等) 在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此，IC 生 產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序問的材料傳送和存放環(huán)境中，AMC 已成為嚴(yán)重影響成品率的重要問題，AMC 分子控制技術(shù)成為潔凈室設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前，國內(nèi)的潔凈室工程行業(yè)企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究。

潔凈室工程是我國的耗能大戶之一。據(jù)不完全統(tǒng)計，潔凈室的能耗是一般寫字樓的 10~3O倍。我國的8英寸芯片廠，潔凈室工程單位面積能耗比美國同類型工廠高15％( 美國耗能1.28 kw/m2~2.63 kW/m2，而中國耗能1.48kW/m2~1.93 kW/m2) 。以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51％是用于潔凈室運行及相關(guān)的維護，如果將這51％的能耗合理降低，對企業(yè)來說就意味著利潤的增長。因此，潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來越重視潔凈室的節(jié)能問題。這就要求潔凈室工程行業(yè)企業(yè)，從客戶需求出發(fā)，從設(shè)計理念、建造施工、設(shè)備配備及運行等各個方面進行節(jié)能設(shè)計，只有采取全方位的節(jié)能技術(shù)，整個潔凈室行業(yè)才能持續(xù)、良性發(fā)展。