“據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，潔凈室工程的能耗是一般寫字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片制造廠，其潔凈室單位面積能耗達(dá)到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類型工廠高15%?！鄙虾Ｊ惺覂?nèi)環(huán)境凈化協(xié)會(huì)秘書長王芳告訴《中國電子報(bào)》記者，“以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51%用于潔凈室運(yùn)行維護(hù)。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業(yè)來說就意味著利潤的增長?！?/span>

在我國，潔凈廠房的能源消耗是相當(dāng)大的。能源消耗主要用于生產(chǎn)設(shè)備用電和用熱、凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電/耗熱和冷負(fù)荷、冷凍機(jī)組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設(shè)施和照明的用電等。為達(dá)到潔凈室要求的空氣潔凈度等級(jí)，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量很大。一般空調(diào)房間的每小時(shí)換氣次數(shù)只需要幾次，而潔凈室每小時(shí)換氣次數(shù)達(dá)到10次～600次。由于技術(shù)的原因，我國的潔凈室在能耗方面又高于歐美發(fā)達(dá)國家。

潔凈室的建造費(fèi)用也十分驚人。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》主要起草人之一秦學(xué)禮在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，ISO6級(jí)(相當(dāng)于美國標(biāo)準(zhǔn)FS2091000級(jí))潔凈室單位面積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(jí)(相當(dāng)于美國標(biāo)準(zhǔn)FS20910級(jí))潔凈室單位面積建造成本則高達(dá)1萬元/平方米。