潔凈室工程按工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等。電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境型式。潔凈室按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

電子潔凈廠房潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范的有關(guān)規(guī)定。電子潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。微粒、對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等。

在潔凈室的入口處宜設(shè)空氣吹淋室，當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室。單人空氣吹淋室，應(yīng)按人數(shù)設(shè)臺(tái)數(shù)。潔凈室工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門(mén)。空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。吹淋室風(fēng)淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位?？諝獯盗苁业倪M(jìn)、出門(mén)不得同時(shí)開(kāi)啟，要采取連鎖控制措施。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)。

不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于 5Pa。潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于 10Pa。潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于 5Pa。