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潔凈室工程生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng),要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備,尤其須注意活動部分之發(fā)塵。生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應(yīng)配備過濾裝置。真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備,應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū),并加裝排氣管線排氣。生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃,以避免微塵之堆積。當設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。應(yīng)有凈化車間專用工具組,但不得帶出凈化車間外使用。
應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu),規(guī)劃各并以容易清潔為原則。設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時,其構(gòu)造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。應(yīng)加強注意室內(nèi)的溫濕度控制,水濂柜避免因濕度之不當造成結(jié)露生銹。對于施工或維修之廠商,應(yīng)告知進出凈化車間之各項規(guī)定,且負責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。規(guī)劃空間時若能臨近凈化車間設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室,將是一理想之規(guī)劃。