從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。

潔凈室工程空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn)，切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求，設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)（PAC）來保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機(jī)S1-1和S1-2來補(bǔ)充。車間有防塵要求，風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對于≥1μm 粒子），同樣屋頂式空調(diào)機(jī)需設(shè)兩級過濾器。

在接入每個(gè)風(fēng)量及正壓控制循環(huán)機(jī)組（AHU）的新風(fēng)管上均設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)AHU-1、2的風(fēng)機(jī)頻率，以達(dá)到控制目的。