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科學(xué)技術(shù)的發(fā)展很快,高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn),尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異,像集成電路的發(fā)展兩三年就更新一代。IC芯片的發(fā)展遵循“ 摩爾定律”( Intel 公司創(chuàng)始人之一GordonE .Moore 1965年預(yù)言) ,芯片上可容納的晶體管數(shù)目( 即集成度) 每18個月便可增加1倍。10年(2000年一2010年) 間我國IC的主流技術(shù)由5 英寸、6 英寸、0.5 lam 以上工藝水平提升到8英寸0.18 lam~0.25m,12 英寸、110nm~90nm~65nm。表征工藝水平的較小線寬( 即特征尺寸featUresiZe ) ,目前已進(jìn)入納米 ( nm ) 級 ,“ 中芯國 際”32/ 28nm 已取得關(guān)鍵技術(shù)突破,將在“十二五”中期進(jìn)入量產(chǎn)。TF T.L C D 的發(fā)展速度更快,一二年就上一個臺階:北京京東方n- LCD薄膜晶體管液晶顯示器5代線 ( 基板尺寸1100 lnnl × 1300 mm) 剛投產(chǎn),即開始建設(shè)合肥京東方6代線( 基板尺寸 1500 mm × 1850mm) ;不到2 年又開始北京京東方8.5代線( 基板尺寸2200mm×2500mm) 的建設(shè)。目前中電熊貓正規(guī)劃TFT—LCD10 代線( 基板尺寸2889mm×3130mm) 的建設(shè)。 這就要求為其服務(wù)的高級別的潔凈室工程必須能適應(yīng)其發(fā)展速度。
從目前我國潔凈室行業(yè)市場發(fā)展來看,電子信息、航空航天、精密儀器、醫(yī)藥衛(wèi)生等行業(yè)的持續(xù)增長,極大地推動了潔凈室的市場需求,進(jìn)而帶動潔凈室工程行業(yè)的大發(fā)展。根據(jù)中國電子學(xué)會綜合測算,2007年中國潔凈室工程行業(yè)整體市場規(guī)模為217.14 億元,盡管其間受 2008年全球金融危機(jī)的影響,部分行業(yè)需求下降,波及到潔凈室工程行業(yè),但2009 年下半年起,受國家發(fā)布 電子信息產(chǎn)業(yè)調(diào)整和振興規(guī)劃、電子信息產(chǎn)品市場需求釋放等因素的影響,行業(yè)對潔凈室的需求迅速恢復(fù),使?jié)崈羰夜こ绦袠I(yè)市場回暖。截止到2011年整個潔凈室工程行業(yè)市場規(guī)模達(dá)到387.77億元,五年間的年均復(fù)合增長率平均為15.6%。
實(shí)驗室凈化工程有極好的靈活性和適應(yīng)性,以滿足微電子、光電子等生產(chǎn)工藝不斷發(fā)展進(jìn)步的要求。建造 一個潔凈廠房投入成本高,使用時問長,不是一二年就會拆掉重建。因此,在潔凈室設(shè)計與建造時必須考慮到生產(chǎn)工藝流程的不斷發(fā)展和變化,使?jié)崈羰揖邆涓玫倪m應(yīng)性和靈活性。對于潔凈室工程行業(yè)來說,在施工過程中,或者是在潔凈室使用過程中,都會因為生產(chǎn)工藝流程的改變引起的氣流組織、設(shè)備容量等方面的變化而導(dǎo)致設(shè)計的改變,而這種變更需要在前期設(shè)計時預(yù)留好變更的空間,否則將 會為后期的改變埋下隱患。