潔凈室工程行業(yè)企業(yè),從客戶需求動身,從設(shè)計理念、建造施工、設(shè)備配備及運轉(zhuǎn)等各個方面中止節(jié)能設(shè)計,只需采取全方位的節(jié)能技術(shù),整個潔凈室行業(yè)才干持續(xù)、良性展開?？諝夥肿游廴続MC作為C工廠關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界Ic卡技術(shù)展開疾速,IC芯片日益微型化,目前曾經(jīng)有嬴徑為04in的世界較小的非接觸型無線射頻識別芯片。

潔凈室工程是我國的耗能大戶之。據(jù)不完好統(tǒng)計,潔凈室的能耗是普通寫字樓的10~30倍。我國的8英寸芯片廠,潔凈室單位面積能耗比美國同類型工「高15%(美國耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2而中國耗能148Wm2-193/m2).以上海某知名芯片廠為例,其全年耗電量的51%是用于潔凈室運轉(zhuǎn)及相關(guān)的維護,假設(shè)將這51%的能耗合理降低,對企業(yè)來說就意味著利潤的增長,因此,潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來越注重潔凈室的節(jié)能問題。

AMC對當(dāng)前的消費其潛在的污染」比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的減少而變化外并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、符種氣體等)在很多情況下，量的分子剩余對下一工序常?？赡芫褪俏廴疚?。因此,IC消費過程中的某些加工工序及工序問的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響廢品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈室設(shè)計與施工樹立的主流趨向。目前,國內(nèi)的潔凈室工程行業(yè)企業(yè)中曾經(jīng)開端從事此方向的研討。